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三氟化氮检测仪适用场景分析
三氟化氮检测仪适用场景分析

2025-04-23

三氟化氮检测仪适用于多种工业和科研场景,特别是在需要监测高纯度气体环境或潜在泄漏风险的环境中。以下是对三氟化氮检测仪适用场景的详细分析:一、半导体制造行业1.原理及需求在半导体制造过程中,三氟化氮常用于化学气相沉积(CVD)和蚀刻工艺。例如,在等离子体增强化学气相沉积(PECVD...
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